【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及低压电子线路的保护元件，特别地，涉及一种基于C轴取向柱 状氧化锌薄膜的低压薄膜压敏电阻器。
技术介绍
氧化锌压敏电阻器是一种以氧化锌为主体的多晶半导体陶瓷元件，具有通 流容量大、响应速度快、无续流、无极性等优点。但是目前商用的压敏电阻的阈值电压一般都在5V以上，例如AVX公司的0402型片式压敏电阻器有5. 6V、 9V、 14V和18V等规格。随着半导体集成电路工艺的不断发展，目前集成电路的 芯片的尺寸越来越小，工作电压也越来越低，因此极需能够在5V以下的低压起 保护作用的压敏电阻器。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术的不足，提供一种基于c轴取向柱状氧化锌 薄膜的低压薄膜压敏电阻器。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的 一种基于c轴取向柱状氧化 锌薄膜的低压薄膜压敏电阻器，它由金属电极、氧化锌薄膜和金属电极依次连 接组成，其中，所述氧化锌薄膜为高度c轴取向的柱状晶体薄膜；所述金属电 极为金属铝膜。本专利技术的有益效果是1. 本专利技术采用薄膜制作工艺制作柱状氧化锌膜，薄膜的取向性控制十分方便，只要简单地控制氧化锌膜的生长工艺，使得氧...
【技术保护点】
一种基于ｃ轴取向柱状氧化锌薄膜的低压薄膜压敏电阻器，其特征在于，它由金属电极（１）、氧化锌薄膜（２）和金属电极（３）依次连接组成，其中，所述氧化锌薄膜（２）为高度ｃ轴取向的柱状晶体薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种基于c轴取向柱状氧化锌薄膜的低压薄膜压敏电阻器，其特征在于，它由金属电极(1)、氧化锌薄膜(2)和金属电极(3)依次连接组成，其中，所述氧化...
【专利技术属性】
技术研发人员：季振国，席俊华，黄东，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]
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