下载二自由度外差光栅干涉仪的技术资料

文档序号:31026515

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本发明公开一种二自由度外差光栅干涉仪,包括:输入单模光纤(1),用于将参考光和测量光传输至干涉仪镜组;干涉仪镜组,包括分光镜组、偏振分光棱镜(11)、楔形镜片(6)、四分之一波片(5)、梯形棱镜(4)、偏振片组(8),在梯形棱镜(4)的顶部...
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