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非均匀温度场下绝对式光栅尺热变形检测装置及方法,涉及绝对式光栅尺检测技术领域,解决现有技术采用恒定温度与绝对式光栅尺实际运行的非均匀温度场存在较大差异,使绝对式光栅尺全测量范围热变形检测结果的准确性难以保证的问题,本发明模拟了绝对式光栅尺实...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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非均匀温度场下绝对式光栅尺热变形检测装置及方法,涉及绝对式光栅尺检测技术领域,解决现有技术采用恒定温度与绝对式光栅尺实际运行的非均匀温度场存在较大差异,使绝对式光栅尺全测量范围热变形检测结果的准确性难以保证的问题,本发明模拟了绝对式光栅尺实...