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一种具有多浮空场板的自适应SOILIGBT器件制造技术
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文档序号:31023205
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本发明属于功率半导体技术领域,具体涉及一种具有多浮空场板的自适应SOI LIGBT器件。相比传统结构,本发明在集电极端引入自适应性NMOS结构,漂移区表面采用间断的浮空场板。正向导通时,集电极端NMOS沟道关闭,集电极端电子抽取路径被阻断而...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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