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公开控制工艺腔室清洁气体用量的方法及工艺处理系统。控制工艺腔室的清洁气体用量的方法包含：供应清洁气体至工艺腔室，以清洁工艺腔室；于清洁期间，利用摄像装置获取工艺腔室的影像；利用影像处理装置识别影像，以判断工艺腔室的清洁是否完成；以及当判断工...
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