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一种具有倒梯形槽的垂直GaN二极管制造技术
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文档序号:31021806
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本发明属于功率半导体技术领域,涉及一种具有倒梯形槽的垂直GaN二极管。本发明主要特征在于:通过倒梯形槽结构设计,新件构在部分肖特基阳极金属与势垒层之间插入介质层,并在体内引入P
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该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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