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本发明公开了一种用于芯片封装的真空共晶设备,包括机体、位于所述机体上的下腔体以及位于所述下腔体上的上腔盖;所述下腔体嵌入所述机体内,所述机体上设置有控制盒;所述下腔体内设置有加热组件与石墨板,所述加热组件数量为多组且在所述下腔体内部呈间隔分...该专利属于赛湃半导体(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛湃半导体(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于芯片封装的真空共晶设备,包括机体、位于所述机体上的下腔体以及位于所述下腔体上的上腔盖;所述下腔体嵌入所述机体内,所述机体上设置有控制盒;所述下腔体内设置有加热组件与石墨板,所述加热组件数量为多组且在所述下腔体内部呈间隔分...