下载一种光学器件的微纳加工方法的技术资料

文档序号:31017515

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本申请涉及一种光学器件的微纳加工方法,所述方法包括如下步骤:S101、对衬底基板进行预制加工,所述衬底基板包括第一表面和相背的第二表面,利用激光在所述衬底基板的第一表面上制备至少一个预制部;S102、将光学功能材料放入所述衬底基板的第一表面...
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