下载一种外延片的快速研磨方法及装置的技术资料

文档序号:31011640

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本发明外延片加工技术领域,公开了一种外延片的快速研磨装置,包括机架以及设于机架上的上料机构和研磨机构,其中上料机构包括上料架,上料架上设有前后方向上设置的滑轨,滑轨上通过滑块设置上料平台,上料架上设有用于驱动上料平台沿滑轨前后方向上移动的直...
该专利属于江苏华兴激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华兴激光科技有限公司授权不得商用。

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