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一种长型条半导体处理设备制造技术
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下载一种长型条半导体处理设备的技术资料
文档序号:31011605
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本发明涉及半导体制备技术领域,具体涉及一种长型条半导体处理设备,包括底座,所述底座顶面一端转动连接有盖体,所述底座一端固定连接有用于放置蓝膜的进料机构,所述盖体一侧开设有用于蓝膜穿过的限位槽。本发明中,通过将晶圆放置在圆槽内部,将蓝膜放置于...
该专利属于江苏卓远半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏卓远半导体有限公司授权不得商用。
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