下载传感器体以及吸附装置的技术资料

文档序号:31011175

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本公开的一个方面所涉及的传感器体(101)具备:主体部(102),形成有供吸附装置(1)的轴(133)通过的空间部(105);一个以上的第一接近传感器(114),配置于所述主体部(102),检测因负压而变形的吸附部(112);以及安装件(1...
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