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一种精准制备鳍式结构深度精度达到小于+/-0.5nm的自动制程控制方法，包括以下步骤：1)进行浅沟槽隔离回蚀并执行第一次自动制程控制(APC-1)；2)用硫酸加双氧水进行清洗；3)移去氮化硅硬式罩幕；4)量测蚀刻深度并将量测值回馈给浅沟槽隔...该专利属于广东汉岂工业技术研发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汉岂工业技术研发有限公司授权不得商用。
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一种精准制备鳍式结构深度精度达到小于+/-0.5nm的自动制程控制方法，包括以下步骤：1)进行浅沟槽隔离回蚀并执行第一次自动制程控制(APC-1)；2)用硫酸加双氧水进行清洗；3)移去氮化硅硬式罩幕；4)量测蚀刻深度并将量测值回馈给浅沟槽隔...