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本实用新型公开了一种配合方阻检测的硅片吸取设备，包括：设备机架、固定在所述设备机架上的X轴运动模组、Y轴运动模组、Z轴运动模组和真空吸盘，所述Y轴运动模组被所述X轴运动模组驱动，所述Z轴运动模组被所述Y轴运动模组驱动，所述X轴运动模组、所述...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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