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本实用新型涉及一种硅片定位机构，用于对传输机构上的硅片进行顶升、定位，包括设置在传输机构两侧的两硅片支撑板，两个所述硅片支撑板下方均设置有带动硅片支撑板运动的移动组件，所述移动组件包括带动硅片支撑板沿水平方向移动的水平运动平台和带动硅片支撑...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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