【技术实现步骤摘要】
一种硅片定位机构
[0001]本技术涉及硅片自动化设备
,尤其是指一种硅片定位机构。
技术介绍
[0002]硅片在不同工位之间的传输需要借助传输机构辅助送料,再配合工位上设置的机械手实现硅片的抓取,从而将传输机构上的硅片放置在待加工工位的托盘上,以便于对硅片进行后续的加工处理。
[0003]现有技术中硅片传输机构主要包括对称设置的皮带轮副,两皮带轮副通过同步的运动将放置在其上的硅片输送至所需的工位。因为硅片的取放需要借助机械手辅助,因而对放置在皮带上的硅片具有较高位置的要求,而现有技术中硅片放置的方式无法满足自动化生产线中高精度的要求,并且放置在皮带上的硅片也不方面采用机械手对其进行抓取。
技术实现思路
[0004]为此,本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片无法在传送带上定位的问题,提供一种硅片定位机构,将传送带上的硅片顶起并进行定位,便于机械手抓取。
[0005]为解决上述技术问题,本技术提供了一种硅片定位机构,用于对传输机构上的硅片进行顶升、定位,其特征在于:包括设置在传输机构 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片定位机构,用于对传输机构上的硅片进行顶升、定位,其特征在于:包括设置在传输机构两侧的两硅片支撑板,两个所述硅片支撑板下方均设置有带动硅片支撑板运动的移动组件,所述移动组件包括带动硅片支撑板沿水平方向移动的水平运动平台和带动硅片支撑板沿竖直方向移动的竖直运动平台,所述硅片支撑板上方设置有用于固定硅片的定位块,所述水平运动平台带动定位块移动到硅片下方,所述竖直运动平台带动定位块向上运动将硅片顶起。2.根据权利要求1所述的硅片定位机构,其特征在于:每个所述硅片支撑板上至少设置有两个定位块,两个硅片支撑板上具有四个定位块,四个定位块分别位于硅片的四个角处,所述定位块包括与硅片的边角匹配的导向支撑部和分割筋,所述定位块位于所述分割筋的两侧形成对称设置的所述导向支撑部。3.根据权利要求2所述的硅片定位机构,其特征在于:所述硅片支撑板上设置有多个定位块,多个所述定位块等间距设置。4.根据权利要求2所述的硅片定位机构,其特征在于:所述定位块可拆卸的安装在支撑板上。5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴廷斌,张学强,张建伟,罗银兵,刘三利,
申请(专利权)人:罗博特科智能科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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