温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于激光加工技术领域，涉及一种晶圆激光加工装置，包括机架以及安装在机架上的校正机构、支撑机构、涂胶清洗装置、多轴机器人和缓存装置，还包括安装在机架上的座体以及安装在座体上的运动平台、激光加工组件和料盒升降机构。该晶圆激光加工装置通...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。