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本实用新型公开了一种高效纳米氮化硅粉体制备装置，涉及纳米氮化硅领域，包括固定顶板，所述固定顶板的底面垂直向下焊接有支撑立杆，所述固定顶板的内侧边固定卡接有底罐体，所述底罐体的底面垂直焊接有进气管，所述进气管的外侧边螺栓连接有进气阀，所述底罐...
该专利属于山东硅纳新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东硅纳新材料科技有限公司授权不得商用。

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