下载一种晶圆理片器的技术资料

文档序号:30984594

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本实用新型公开了一种晶圆理片器,其技术方案要点是包括主板、胶辊组件、挡架组件和驱动组件,所述胶辊组件转动安装在主板上,用于对晶圆的整理,所述挡架组件安装在主板的两侧,用于对晶圆盒的限位,所述驱动组件安装在胶辊组件的一端,用于驱动胶辊转动。本...
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