温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法，该装置包括：传送带，传送带顺着传送方向依次包括搬入段、清洗段和搬出段；用于夹持并移动进入清洗段的晶圆的夹持部件，夹持部件在第一方向上能够往复运动，以夹持并移动晶圆至预定清洗位置，第一方向垂直...
该专利属于西安奕斯伟材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。