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本发明公开了一种一种LPCVD炉管在线清洗方法，包括以下步骤：将炉管炉门封闭，检查真空，确认机台真空度，然后升温；通入N2，升温至350
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该专利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市拉普拉斯能源技术有限公司授权不得商用。

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