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本实用新型提供了一种先进的4寸wafer镀锅衬圈，包括：衬圈主体、外沿、支撑角；所述外沿位于衬圈主体顶端的边缘处，且外沿与衬圈主体为一体式结构；所述支撑角位于衬圈主体底部的边缘处，且支撑角与衬圈主体为一体式结构；本实用新型通过对先进的4寸w...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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