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本实用新型公开了一种用于加工晶圆的机台，其中，包括基座、机械臂和卡位结构，所述基座为可转动基座；所述机械臂设置在所述基座上，所述基座带动所述机械臂转动，并且所述机械臂背离所述基座的一端设置为用于取放晶圆的取放部；所述卡位结构设置在所述机械臂...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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