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在至少一个实施例中，SAW器件包括载体衬底(1)、载体衬底上的压电薄膜(2)、压电薄膜上的叉指电极结构(3)和波导层的层堆叠(4)。层堆叠布置在载体衬底和压电薄膜之间。层堆叠包括第一波导层(41)和第二波导层(42)，其中第一波导层中的声速...该专利属于RF360欧洲有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过RF360欧洲有限责任公司授权不得商用。
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在至少一个实施例中，SAW器件包括载体衬底(1)、载体衬底上的压电薄膜(2)、压电薄膜上的叉指电极结构(3)和波导层的层堆叠(4)。层堆叠布置在载体衬底和压电薄膜之间。层堆叠包括第一波导层(41)和第二波导层(42)，其中第一波导层中的声速...