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一种半导体结构和半导体结构的形成方法,其中,结构包括:衬底;位于所述衬底表面的栅极结构;分别位于所述栅极结构两侧衬底表面的第一电互连结构;位于所述栅极结构顶部表面的第二电互连结构,所述第二电互连结构与所述栅极结构电互连,所述第二电互连结构包...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构和半导体结构的形成方法,其中,结构包括:衬底;位于所述衬底表面的栅极结构;分别位于所述栅极结构两侧衬底表面的第一电互连结构;位于所述栅极结构顶部表面的第二电互连结构,所述第二电互连结构与所述栅极结构电互连,所述第二电互连结构包...