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本发明提出一种激光辅助加热MOCVD装置及其工作方法，其特征在于：使用激光加热系统联合MOCVD自有的原位监测系统EPI
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该专利属于福建中科光芯光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建中科光芯光电科技有限公司授权不得商用。

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