温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种双频感应炉直拉单晶硅的装置，包括：真空熔炼室；石英坩埚，设置在所述真空熔炼室内；石墨熔化器，固定于所述石英坩埚的上部，所述石墨熔化器上开有供融化后的硅液流出的出液口；加料机构，其出料口通入所述石墨熔化器；中频感应线圈，套设在...
该专利属于长沙新立硅材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙新立硅材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。