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用于表面声波器件的复合基板及其制造方法技术
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文档序号:30885801
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提供了一种具有小损耗的用于SAW器件的压电复合基板。根据本发明的一个实施方式的用于表面声波器件的复合基板具有:压电单晶薄膜,支撑基板,以及在压电单晶薄膜和支撑基板之间的第一中间层。在所述复合基板中,第一中间层与压电单晶薄膜接触,并且第一中间...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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