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本发明提供了一种光学系统透过率检测装置及光学系统透过率检测方法，光学系统透过率检测装置包括光路调整单元、探测光测量单元和参考光测量单元，光路调整单元包括分光镜和反射器，分光镜用于将入射光分为透射的初次探测光和反射的参考光，反射器用于对初次经...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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