下载具有减少的传导针位置不正的探头装置的技术资料

文档序号:3087614

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一种探头装置,包括具有衬底的探头组支撑件,在所述衬底上形成具有传导针的探头。探头的主体由合成杆例如L形杆构成,所述L形杆通过连接几个臂例如从探头组支撑件的衬底伸出的第一,第二臂形成,它沿平行于衬底表面的方向悬挂于衬底上方。传导针垂直于衬底表...
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