具有减少的传导针位置不正的探头装置制造方法及图纸

一种探头装置，包括具有衬底的探头组支撑件，在所述衬底上形成具有传导针的探头。探头的主体由合成杆例如Ｌ形杆构成，所述Ｌ形杆通过连接几个臂例如从探头组支撑件的衬底伸出的第一，第二臂形成，它沿平行于衬底表面的方向悬挂于衬底上方。传导针垂直于衬底表面被固定在每个合成杆上的一个选择点上。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于运动介质型存储装置的探头装置，其中精密的探头由静电力或由双压电晶片产生的力带动。更具体地说，本专利技术涉及一种上述类型的探头装置，其中与所述探头相连的传导针的位置不正可被减到最小或消除。近些年来，使用精密探头的不同类型的运动介质型存储器件已被提出，用来代替硬盘存储器和半导体存储器件，例如CMOS器件(见日本专利申请公开No.4-98120，J.Sliwa，Jr.，MicrovibratoryMemery Device，日本专利申请公开No.4-289580(U.S.专利No.5216631，公开日1993年6月)，以及日本专利申请公开No.4-364299)。这种存储装置使用微观技术，其中双压电晶体带动的长扁板形悬臂用作探头。使用这些悬臂进行记录介质中数据的读写。附图说明图1是一种常规的运动介质型存储装置的概貌。图1所示的存储装置由探头装置100，存储器衬底200，控制电路300以及写读电路400构成。许多悬臂形探头101在其末端具有传导针102，被双压电晶片的力带动，并被形成在探头装置100的表面上。存储介质201形成在存储器衬底200的表面上，用于读写本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有减少的传导针位置不正的探头装置，包括探头组支撑件，其具有一个衬底表面，在其上形成具有传导针的探头；其中所述探头的主体由合成杆构成，所述合成杆通过连接从所述探头组支撑件的所述衬底延伸的几个臂形成，并且它沿平行于所述衬底的表面方向悬挂在所述衬底上方；以及其中所述传导针垂直于所述衬底表面固定在至少一个所述合成杆的一点上。２．一种具有减少的传导针位置不正的探头装置，包括：探头组支撑件，其具有一个衬底表面，在其上形成具有传导针的探头；其中所述探头的主体由折迭杆构成，它沿平行于所述衬底表面的方向悬挂于所述探头支撑件衬底表面的上方；其中所述折迭杆的开始端部分被固定在所述衬底表面上；以及其中所述传导针...

【技术特征摘要】
JP 1994-10-28 289259/941.一种具有减少的传导针位置不正的探头装置，包括探头组支撑件，其具有一个衬底表面，在其上形成具有传导针的探头；其中所述探头的主体由合成杆构成，所述合成杆通过连接从所述探头组支撑件的所述衬底延伸的几个臂形成，并且它沿平行于所述衬底的表面方向悬挂在所述衬底上方；以及其中所述传导针垂直于所述衬底表面固定在至少一个所述合成杆的一点上。2.一种具有减少的传导针位置不正的探头装置，包括探头组支撑件，其具有一个衬底表面，在其上形成具有传导针的探头；其中所述探头的主体由折迭杆构成，它沿平行于所述衬底表面的方向悬挂于所述探头支撑件衬底表面的上方；其中所述折迭杆的开始端部分被固定在所述衬底表面上；以及其中所述传导针被固定在所述折迭杆的终止端部分。3.一种探头装置，包括探头组支撑件，在其中具有传导针的探头形成在衬底上；其中所述探头的主体由合成杆制成，所述合成杆通过连接从探头组支撑件的衬底延伸的几个臂形成，并且它以平行于所述衬底的表面方向悬挂于所述衬底的上方；以及其中所述传导针被垂直于衬底表面固定在每个所述合成杆上的一点上。4.如权利要求，的探头装置，其中至少一个组成每个合成杆的臂还包括与探头驱动装置相连的第一线路设置；以及其中至少每个合成杆的其它臂的一个还包括与用来为所述传导针施加规定电压的电路相连的第二线路设置；其中所述第一线路设置和所述第二线路设置彼此绝缘。5.如权利要求3的探头装置，其中所述第一臂还包括在所述臂和衬底之间产生静电力的电极，所述电极或者与第一线路设置相连或者连接在所述臂和不是所述衬底的一个部件之间。6.如权利要求5的探头装置，其中所述合成杆由硅制成，并且还包括作为所述第一线路设置的第一臂；以及作为第二线路设置的第二臂；其中所述第一臂和所述第二臂由PNP结或NPN结彼此隔离。7.如权利要求3的探头装置，其中所述合成杆由...

【专利技术属性】
技术研发人员：M斋藤，YW伊，
申请(专利权)人：惠普公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]