下载连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统的技术资料

文档序号:30873196

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本实用新型涉及一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统包括叉车式移载装置、及导向结构,叉车式移载装置包括:底座,在第一方向上具有相对的第一端和第二端,第一端具有导向部;竖直升降机构,安装于底座的第二端,左右调节组件,连接于竖直升降机构;承重货...
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