连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统包括叉车式移载装置、及导向结构，叉车式移载装置包括：底座,在第一方向上具有相对的第一端和第二端，第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于底座的第二端，左右调节组件，连接于竖直升降机构；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，第二方向垂直于第一方向及垂直竖直方向，承重货叉包括沿第一方向延伸的叉臂，叉臂的面对底座的一侧设有吊勾；及向结构，设置于镀膜工艺室的下方，用于与所述底座的导向部配合，以引导车式移载装置朝向镀膜工艺室移动并限定所叉车式移载装置的移动位置，较传统天车，对厂房的结构强度和高度的要求较低。构强度和高度的要求较低。构强度和高度的要求较低。

【技术实现步骤摘要】
连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别是涉及一种安装连续镀膜PVD设备中阴极的安装系统。

技术介绍

[0002]当前市场上吊装阴极设计的连续镀膜PVD(Physical Vapour Deposition，物理气相沉积)设备采用天车吊装的方式实施维护保养。其中，连续镀膜PVD设备是用于实现连续进片的一种真空镀膜设备，一般是7室结构，7室分别命名C1
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C7，他们的作用分别是进端锁室、进端缓冲室、进端过渡室、工艺室、出端过渡室、出端缓冲室、出端锁室。传统技术中，采用天车吊装的方式维护保养，具体而言是针对C4即镀膜工艺室的阴极。这里的阴极指可使用吊装方法进行拆卸的PVD设备的阴极机构，该阴极机构具有可供吊装的吊装部位，改吊装部位一般为吊环。
[0003]采用天车1吊装的方式实施维护保养，采用天车将阴极2吊入镀膜工艺室3。如图1所示，示意了阴极吊入或吊出过程时的工作状态。天车1的吊勾11与阴极2顶部的吊环21之间通过吊绳4连接。天车1的吊勾11沿竖直方向升降，可将阴极2吊至镀膜工艺室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，包括叉车式移载装置、及导向结构，其中所述叉车式移载装置包括：底座,所述底座在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于所述底座的第二端，左右调节组件，连接于所述竖直升降机构，以在所述竖直升降机构的驱动下沿竖直方向升降；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，所述第二方向垂直于所述第一方向及垂直于所述竖直方向，其中所述承重货叉包括至少一根沿所述第一方向延伸的叉臂，所述叉臂的面对所述底座的一侧设有吊勾；及所述导向结构设置于镀膜工艺室的下方，所述导向结构用于与所述底座的导向部配合，以引导所述叉车式移载装置朝向所述镀膜工艺室移动并限定所述叉车式移载装置的移动位置。2.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述底座包括平行设置的一对支撑腿，每个所述支撑腿的远离所述竖直升降机构的端部设有所述导向部。3.根据权利要求2所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述导向结构包括间隔设置的第一导向件和第二导向件，所述第一导向件包括彼此垂直的第一导向壁和第一挡壁，所述第二导向件包括彼此垂直的第二导向壁和第二挡壁，其中所述第一导向壁平行于所述第二导向壁且沿所述支撑腿的长度方向延伸，所述第一挡壁和所述第二挡壁对向延伸。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴超，彭孝龙，张永胜，杨肸曦，解传佳，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：