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本实用新型涉及一种机械化学研磨中研磨头进气构件，为空心圆结构，下表面设置有圆形凹槽，圆形凹槽内设置有第一凸部，上表面设置有第二凸部，围绕所述第二凸部设置有至少6个沿径向分布的凹槽；第二凸部上设置有第三凸部；第一凸部、第二凸部和第三凸部的中心...
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