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本实用新型公开了一种多阶横模抑制的声表面波换能器,声表面波换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层;还包括负载层,负载层采用如下结构之一或组合;结构一:负载层设置于温补层上或温补层中,负载层不与叉指金属层接触,负载层覆盖叉指...该专利属于江苏卓胜微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏卓胜微电子股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种多阶横模抑制的声表面波换能器,声表面波换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补层;还包括负载层,负载层采用如下结构之一或组合;结构一:负载层设置于温补层上或温补层中,负载层不与叉指金属层接触,负载层覆盖叉指...