下载一种用于集成电路制造的电镀槽结构的技术资料

文档序号:30849007

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种用于集成电路制造的电镀槽结构,包括:除杂机构,设置在槽体左侧,除杂机构包括过滤机、抽液管和出液管;置物机构,设置在槽体内部以及升降机构上,置物机构包括架板、支杆和升降板;升降机构,设置在槽体右侧,升降机构包括限位块、丝杆...
该专利属于深圳市众志祥科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市众志祥科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。