下载一种芯片输送装置的技术资料

文档序号:30847164

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本实用新型涉及芯片技术领域,尤其是一种芯片输送装置,包括多个输送单元,输送单元中的驱动机构驱动滑台气缸和滑块一起沿水平导轨移动,真空仓板安装在滑台气缸的滑台上,板块安装在真空仓板上,板块上开设多个用来放置芯片的凹槽,真空仓板内部真空通道和外...
该专利属于江苏信息职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过江苏信息职业技术学院授权不得商用。

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