下载一种提高单晶金刚石质量的方法的技术资料

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一种提高单晶金刚石质量的方法,步骤包括:在生长之前,获取生长炉内的漏气率,并判断漏气率的实测值是否在标准设定区间内,以确定在生长过程中是否通入氮氢混合气体;当漏气率的实测值大于最大标准值时,不通入氮氢混合气体直至生长结束;当漏气率的实测值小...
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