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本发明公开了一种化学气相沉积台板结构及其控制方法，包括腔体、阳极台板、玻璃基板、气孔扩散板、PIN、PIN孔和陶瓷套筒，所述阳极台板设于腔体内，所述玻璃基板活动设于阳极台板上壁上，所述PIN孔贯穿设于阳极台板上，所述陶瓷套筒固接设于PIN孔...
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