下载一种单晶硅料漂洗装置及漂洗方法的技术资料

文档序号:30827265

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本发明公开了一种单晶硅料漂洗装置及漂洗方法,属于单晶硅料处理技术领域,漂洗槽,漂洗槽上方设置有进水管,漂洗槽从上至下设置有三个排水孔,三个排水孔分别为第一排水孔、第二排水孔和第三排水孔,第一排水孔位于漂洗槽三分之二高度处且设置有第一阀门,第...
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