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一种高稳定性准分子激光器装置，包括：放电谐振腔、线宽压窄模块、检测模块以及控制模块；所述线宽压窄模块包括沿由所述放电谐振腔第一侧激光出射方向依次设置的扩束装置和中阶梯光栅；检测模块包括中心波长精测装置和中心波长粗测装置；其中，所述中心波长粗...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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