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烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法技术
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文档序号:30820534
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本发明的目的在于提供一种能够容易地制造龟裂得到抑制的烧结体的烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法。本发明的一实施方式的烧结体的制造方法包括:形成包含金属粉末及金属氧化物粉末的原料粉末的造粒物的步骤、以及对所述造粒物进行煅烧的步骤,所述原料粉末...
该专利属于株式会社钢臂功科研所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社钢臂功科研授权不得商用。
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