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一种电感耦合等离子体镀膜组件，用于为至少一待镀膜基材镀膜，其包括至少一装置主体、一基于电感耦合的等离子体发生单元、以及一介质板，其中所述装置主体具有一反应腔室，所述等离子体发生单元被设置于所述装置主体的外侧壁以在所述反应腔室内产生一等离子体...
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