下载一种分步测量光学镜片曲率半径和检测镜片缺陷的方法的技术资料

文档序号:30791026

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本发明提出了一种分步测量光学镜片曲率半径和检测镜片缺陷的方法,包括(1)初始曲率半径求解:根据采集的干涉图T(x,y)的暗环直径,求得初始曲率半径R0;(2)曲线拟合:以R0仿真牛顿环T0(x,y),将T(x,y)和T0(x,y)二阶极坐标...
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