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本发明的一个实施方式所涉及的检查装置具备：检查光学系统，其具有照明部、和取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动，检查光学系统与移动机构独立地固定配置，移动机构具有使膜相对于检查光学系统向与膜的基准方向不同的第一方向移动...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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