检查装置、检查方法以及膜的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的一个实施方式所涉及的检查装置具备：检查光学系统，其具有照明部、和取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动，检查光学系统与移动机构独立地固定配置，移动机构具有使膜相对于检查光学系统向与膜的基准方向不同的第一方向移动的机构，拍摄部的拍摄区域(A)沿与第一方向不同的第二方向延伸，基准方向、第一方向以及第二方向与膜的厚度方向正交，基准方向与第一方向之间的第一角度(θ1)为15

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置、检查方法以及膜的制造方法


[0001]本专利技术涉及检查装置、检查方法以及膜的制造方法。

技术介绍

[0002]在偏振膜以及相位差膜等光学膜、电池的隔膜中使用的膜等中，在形成该膜后，实施膜的缺陷检查。作为膜的缺陷检查的现有技术，有专利文献1的技术。在专利文献1的技术中，一边将长条的膜沿长度方向输送一边进行膜的检查。具体而言，一边利用沿长度方向输送的膜的宽度方向(与长度方向正交的方向)延伸的照明单元对膜进行照明，一边利用配置于宽度方向的多个相机拍摄膜来检查膜的缺陷。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2016
‑
70856号公报

技术实现思路

[0006]‑
专利技术要解决的课题
‑
[0007]偏振膜通过一边利用输送辊将由偏振膜的材料形成的长条的膜在长度方向上输送，一边在上述长度方向上实施使膜延伸的延伸处理而形成。例如，异物附着于用来输送长条的膜的上述输送辊的辊表面，有时由于该异物而在膜上产生损伤。当对产生了损伤的膜实施延伸处理时，在膜中产生在膜的长度方向上延伸的条纹状的缺陷。然而，在将膜沿长度方向输送的同时，对在宽度方向上以线状照明的区域进行拍摄而进行膜的缺陷检查的专利文献1的技术中，无法检测出上述那样的沿长度方向延伸的缺陷。
[0008]在此，以偏振膜为例，对在长度方向上延伸的缺陷进行了说明，但对于在膜中设定的在基准方向上延伸的缺陷，产生同样的问题。即，如专利文献1的技术那样，一边使膜向基准方向(相当于专利文献1的长度方向)移动，一边沿着与该基准方向正交的方向线状地对膜进行照明，将该线状的照明区域作为拍摄区域进行拍摄，由此在进行缺陷检查的情况下，难以检测在基准方向上延伸的缺陷。
[0009]因此，本专利技术的目的在于提供一种能够检测在膜中在一个方向上延伸的缺陷的检查方法以及检查装置以及包括上述检查方法的膜的制造方法。
[0010]‑
用于解决课题的手段
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[0011]本专利技术的一个方面所涉及的检查装置(以下，称为“第一检查装置”)具备：检查光学系统，其具有对膜进行照明的照明部、和接收来自由上述照明部照明的上述膜的光而取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动。上述检查光学系统与上述移动机构独立地固定配置。上述移动机构具有使上述膜相对于上述检查光学系统向与上述膜的基准方向不同的第一方向移动的机构。上述检查光学系统的拍摄区域沿与上述第一方向不同的第二方向延伸。上述基准方向、上述第一方向以及上述第二方向与上述膜的厚度方向正交。上述基准方向与上述第一方向之间的第一角度为15
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以上且165
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以下。上述第
一方向与上述第二方向之间的第二角度为15
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以上且165
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以下。上述基准方向与上述第二方向为非正交。
[0012]在上述第一检查装置中，一边使膜相对于检查光学系统向与基准方向不同的第一方向移动，一边取得检查图像。检查光学系统的拍摄区域的延伸方向即第二方向与第一方向不同且与上述基准方向非正交。因此，能够检测在基准方向上延伸的缺陷。在上述第一检查装置中，检查光学系统不移动，而膜移动，因此在照明部与拍摄部的配置关系中不会产生它们的位置偏移。因此，容易可靠地检测上述缺陷。
[0013]在上述第一检查装置的一个实施方式中，上述检查光学系统也可以是散射光学系统。在检查光学系统为散射光学系统的情况下，照明部与拍摄部的位置精度容易对检测灵敏度产生影响。检查光学系统被固定，在使膜移动的情况下，如上所述，在照明部与拍摄部的配置关系中不会产生它们的位置偏移。因此，容易可靠地检测上述缺陷。
[0014]在上述第一检查装置的一个实施方式中，也可以是，上述移动机构还具有使上述膜相对于上述检查光学系统向与上述第一方向不同并且与上述厚度方向正交的第三方向移动的机构。上述第一方向与上述第三方向之间的第三角度也可以为15
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以上且165
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以下。在这种情况下，能够变更使膜在第一方向上移动来进行检查的检查范围。
[0015]本专利技术的一个方面所涉及的其他检查装置(以下，称为“第二检查装置”)具备：检查光学系统，其具有对膜进行照明的照明部、和接收来自由上述照明部照明的上述膜的光而取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜以及检查光学系统中的至少一方移动。上述移动机构具有使上述膜以及上述检查光学系中的一方相对于另一方向与上述膜的基准方向不同的第一方向移动的机构。上述检查光学系统的拍摄区域沿与上述第一方向不同的第二方向延伸。上述基准方向、上述第一方向以及上述第二方向与上述膜的厚度方向正交。上述基准方向与上述第一方向之间的第一角度为15
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以上且小于90
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或者大于90
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且165
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以下。上述第一方向与上述第二方向之间的第二角度为15
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以上且165
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以下。上述基准方向与上述第二方向为非正交。
[0016]在上述第二检查装置中，一边使上述膜以及上述检查光学系中的一方相对于另一方，沿与上述膜的基准方向不同的第一方向移动，一边取得检查图像。检查光学系统的拍摄区域的延伸方向即第二方向与第一方向不同且与上述基准方向非正交。因此，能够检测在基准方向上延伸的缺陷。
[0017]在上述第二检查装置的一个实施方式中，也可以是，上述移动机构还具有使上述膜以及上述检查光学系统中的一方相对于另一方向与上述第一方向不同并且在与上述厚度方向正交的第三方向移动的机构。上述第一方向与上述第三方向之间的第三角度也可以为15
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以上且165
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以下。在这种情况下，能够变更使上述膜以及上述检查光学系统中的一方相对于另一方在第一方向上移动来进行检查的检查范围。
[0018]上述第一检查装置以及上述第二检查装置各自的一个实施方式也可以具有将上述膜向上述基准方向输送的输送机构。上述移动机构也可以通过使上述输送机构移动来使上述膜移动。
[0019]本专利技术的另一侧面所涉及的检查方法(以下，称为“第一检查方法”)是为了缺陷判定而取得膜的检查图像来检查上述膜的检查方法，具备检查图像取得工序，在该检查图像取得工序中，一边利用检查光学系统所具有的照明部对上述膜进行照明，一边利用上述检
查光学系统所具有的拍摄部对上述膜进行拍摄，由此取得用于缺陷判定的检查图像。在上述检查图像取得工序中，在与上述膜的基准方向不同的第一方向上，一边使上述膜相对于上述检查光学系统移动一边取得上述检查图像。上述检查光学系统的拍摄区域沿与上述第一方向不同的第二方向延伸。上述基准方向、上述第一方向以及上述第二方向与上述膜的厚度方向正交。上述基准方向与上述第一方向之间的第一角度为15
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以上且165
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以下。上述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查装置，具备：检查光学系统，其具有对膜进行照明的照明部、和接收来自由所述照明部照明的所述膜的光而取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动，所述检查光学系统与所述移动机构独立地固定配置，所述移动机构具有使所述膜相对于所述检查光学系统向与所述膜的基准方向不同的第一方向移动的机构，所述检查光学系统的拍摄区域沿与所述第一方向不同的第二方向延伸，所述基准方向、所述第一方向以及所述第二方向与所述膜的厚度方向正交，所述基准方向与所述第一方向之间的第一角度为15
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以上且165
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以下，所述第一方向与所述第二方向之间的第二角度为15
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以上且165
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以下，所述基准方向与所述第二方向为非正交。2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述检查光学系统是散射光学系统。3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，所述移动机构还具有使所述膜相对于所述检查光学系统向与所述第一方向不同并且与所述厚度方向正交的第三方向移动的机构，所述第一方向与所述第三方向之间的第三角度是15
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以上且165
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以下。4.一种检查装置，具备：检查光学系统，其具有对膜进行照明的照明部、和接收来自由所述照明部照明的所述膜的光而取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜或者检查光学系统移动，所述移动机构具有使所述膜以及所述检查光学系统中的一方相对于另一方，向与所述膜的基准方向不同的第一方向移动的机构，所述检查光学系统的拍摄区域向与所述第一方向不同的第二方向延伸，所述基准方向、所述第一方向以及所述第二方向与所述膜的厚度方向正交，所述基准方向与所述第一方向之间的第一角度为15
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以上且小于90
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或者大于90
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且165
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以下，所述第一方向与所述第二方向之间的第二角度为15
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以上且165
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以下，所述基准方向与所述第二方向为非正交。5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，所述移动机构还具有使所述膜以及所述检查光学系统中的一方相对于另一方，向与所述第一方向不同并且与所述厚度方向正交的第三方向移动的机构，所述第一方向与所述第三方向之间的第三角度为15
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以上且165
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以下。6.根据权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，所述检查装置具有使所述膜向所述基准方向输送的输送机构，所述移动机构通过使所述输送机构移动，从而使所述膜移动。7.根据权利要求1～6中任一项所述的检查装置，其中，所述膜是长条的膜，
所述基准方向是所述膜的长度方向。8.根据权利要求1～7中任一项所述的检查装置，其中，所述膜包括沿一个方向延伸的延伸膜，所述基准方向是所述延伸膜的延伸方向。9.一种检查方法，是为了判定缺陷取得膜的检查图像...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾崎麻耶，曾我部里惠，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：