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本发明公开一种掩模检查设备和使用掩模检查设备的掩模检查方法。掩模检查方法包括步骤：获取掩模的图像，掩模包括具有多个第一开口的第一区域以及具有多个第二开口的第二区域；将图像划分成与第一区域相对应的第一局部图像以及与第二区域相对应的第二局部图像...
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