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本发明公开了一种无水氟化氢取样方法及其装置，取样方法包括：取样前步骤：将取样瓶置于冰水混合槽中进行外部冷却散热；如取样系统非首次使用，需用氮气检测管线密闭性后，用氮气将前一次取样中残留在管线中的氟化氢冲洗到氟化氢回收罐中；取样时步骤：打开无...
该专利属于昊华气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昊华气体有限公司授权不得商用。

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