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本发明提供一种封装结构及其封装方法,所述封装结构包括:第一半导体圆片,其正面设置有磁传感器、第一金属焊盘和与第一金属焊盘连接的第一再布线层,其背面设置有第一腔体和第二腔体;第二半导体圆片,其正面设置有第二金属焊盘、加速度传感器和陀螺仪,第二...该专利属于美新半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美新半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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