下载碳化硅晶体生长装置和晶体生长方法的技术资料

文档序号:30767508

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本发明涉及晶体生长技术领域,具体而言,涉及一种碳化硅晶体生长装置和晶体生长方法。碳化硅晶体生长装置包括坩埚和网状件;网状件设置在坩埚的坩埚体中,且网状件的周缘与坩埚体的内壁抵持;网状件呈朝向坩埚体底部的凹状;坩埚底部被配置为用于盛放原料粉料...
该专利属于福建北电新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建北电新材料科技有限公司授权不得商用。

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