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一种半导体晶圆精准切割装置,包括基座,自动切割装置包括电动液压杆,固定板的顶部固定连接有伺服电机,伺服电机的输出端固定连接有齿轮,齿轮的表面啮合连接有内齿轮,内齿轮的底部固定连接有刀片,轴承的表面均对称固定连接有转动块,电动液压杆的一侧固定...该专利属于聚芯芯片科技(常州)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚芯芯片科技(常州)股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体晶圆精准切割装置,包括基座,自动切割装置包括电动液压杆,固定板的顶部固定连接有伺服电机,伺服电机的输出端固定连接有齿轮,齿轮的表面啮合连接有内齿轮,内齿轮的底部固定连接有刀片,轴承的表面均对称固定连接有转动块,电动液压杆的一侧固定...